在集成电路生产过程中如果用水点存在杂质会给器件带来一系列不利影响。所以为了确保产品质量，必须采用超纯水系统并结合该产品的生产特点及用水标准采用相适应的纯水制取工艺。

集成电路工厂纯水制备系统应根据原水水质及工艺生产设备要求的超纯水水质来确定，一般由下列4部分组成：预处理系统、一次纯水处理系统、超纯水制取系统、回收水系统。

集成电路清洗超纯水设备预处理重要性

预处理的目的是去除水中所含的悬浮物、胶体、高分子有机物等杂质。需要指出的是，活性炭对去除TOC有非常好的效果，但它也往往成为微生物的滋生地。因此，在预处理系统中采用活性炭处理时，应将活性炭过滤的进水调成酸性，以防止微生物滋生。

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