1、多晶硅超纯水设备的进水水源。水源的水质决定了多晶硅超纯水设备的生产工艺。不同地区的水质受污染程度及地域差别等因素影响，水质也会有千差万别。多晶硅超纯水设备是依据一个地区的水质决定设备自身的生产工艺设计。水质越差的地区，多晶硅超纯水设备的生产工艺就越高，从而增加了设备的制造成本，提高了产品的价格。

2、多晶硅超纯水设备备本身的材质。通常超纯水设备通体选用不锈钢板材作为其材质。耐磨耐腐蚀的材质，不会生锈，可以避免超纯水设备在制水的过程中与水接触后产生一般材质的生锈腐蚀上网问题。一般情况下，超纯水设备使用年限越长，板材的耐腐蚀性越强，就表明价格越贵。

3、用户所需超纯水设备的产水量。超纯水设备按照产水量的不同可分为不同的型号。产水量越大的设备适合于需求更大的企业，自然其设备体积越大，价格越高。

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