微电子行业的生产加工离不开超纯水的使用，微电子生产用超纯水设备针对这一行业用水需求，采用反渗透和EDI相结合的制水工艺，有效去除水中的导电离子，电阻率可以达到18兆欧以上。

微电子生产用超纯水设备工艺流程

1、原水→原水加压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器→精密过滤器→一级反渗透设备→中间水箱→中间水泵→离子交换器→纯化水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→微孔过滤器→用水点

2、原水→原水加压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器→精密过滤器→第一级反渗透→PH调节→中间水箱→第二级反渗透(反渗透膜表面带正电荷)→纯化水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→微孔过滤器→用水点

3、原水→原水加压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器→精密过滤器→一级反渗透机→中间水箱→中间水泵→EDI系统→纯化水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→微孔过滤器→用水点

微电子生产用超纯水设备技术优势

1、CPUW核心超纯水专用膜元件

2、CIP在线清洗消毒系统

3、GMP标准认证

4、POD水质在线检测系统

5、PPH、PVDF洁净管道设计工程师

当前题目：微电子生产用超纯水设备优势有哪些
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