超纯水设备在使用过程中会受到一些物质的污染，这些物质对于超纯水设备有着很大的影响，影响着超纯水设备的工作，对超纯水设备影响较大的污染物包括硬度(钙、镁)、有机物、固体悬浮物、变价金属离子(铁、锰)、氧化剂(氯，臭氧)和二氧化碳(CO2)以及细菌，那么污染物对超纯水设备会有怎样的影响呢?

氯和臭氧会氧化离子交换树脂和离子交换膜，引起超纯水设备组件功能减低。氧化还会使TOC含量明显增加，污染离子交换树脂和膜，降低离子迁移速度。另外，氧化作用使得树脂破裂，通过组件的压力损失将增加。

铁和其它的变价金属离子可对树脂氧化起催化作用，永久地降低树脂和膜的性能。

硬度能在反渗透和超纯水设备单元中引起结垢，结垢一般在浓水室膜的表面发生，该处pH值较高。此时，浓水入水和出水间的压力差增加，电流量降低，使入水硬度降到最小将会延长清洗周期并且提高超纯水设备系统水的利用率。

悬浮物和胶体会引起膜和树脂的污染和堵塞，树脂间隙的堵塞导致超纯水设备组件的压力损失增加。

有机物被吸引到树脂和膜的表面导致污染，使得被污染的膜和树脂迁移离子的效率降低，膜堆电阻将增加。

二氧化碳有两种效果，首先，CO32-和Ca2+、Mg2+形成碳酸盐类结垢，这种垢的形成与给水的离子浓度和pH有关。其次，由于CO2的电荷与pH值有关，而其被RO和超纯水设备的去除都依赖于其电荷，因此它的去除效率是变化的。即使较低的CO都能显著地降低产品水的电阻率。

细菌导致藻类生长和粘垢形成，使膜块的压力损失增大，水质下降。

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