晶片切割用超纯水设备与混床离子交换设备属于水处理系统中的精处理设备，下面将两种设备在产水水质、投资量及运行成本方面进行比较，来说明EDI装置在水处理中应用的优越性。

1、产水水质比较

EDI装置是一个连续净水过程，因此其产品水水质稳定，电阻率可达18.25MΩ·cm，达到超纯水的指标。混床离子交换设施的净水过程是间断式的，在刚刚被再生后，其产品水水质较高，而在下次再生之前，其产品水水质较差。

2、投资量比较

与混床离子交换设施相比EDI装置投资量要高约20%左右，但从混床需要酸碱储存、酸碱添加和废水处理设施及后期维护、树脂更换来看，两者费用相差在10%左右。随着技术的提高与批量生产，EDI装置所需的投资量会大大的降低。另外，EDI装置设备小巧，所需厂房远远小于混床。

3、运行成本比较

EDI装置运行费用包括电耗、水耗、药剂费及设备折旧等费用，省去了酸碱消耗、再生用水、废水处理和污水排放等费用。

在电耗方面，EDI装置约0.5kWh/t水，混床工艺约0.35kWh/t水，电耗的成本在电厂来说是比较经济的，可以用厂用电的价格核算。

在水耗方面，EDI装置产水率高，不用再生用水，因此在此方面运行费用低于混床。

至于药剂费和设备折旧费两者相差不大。

总的来说，在运行费用中，EDI装置吨水运行成本在1.8元左右，常规混床吨水运行成本在3.2元左右，高于EDI装置。因此，EDI装置多投资的费用在1-2年内完全可以回收。

当前标题：晶片切割用超纯水设备与混床离子交换设备比较
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