当关闭RO系统时，在高压泵关闭前，逐渐打开高压浓水阀门，严禁突然降压，随后以渗透液或高品质进水冲洗，以除去膜组件内的高盐份直到浓缩液之电导达到进水电导值。冲洗以低压进行(约3Kg/cm2)，高进水流量对清洗有利。

用于冲冼的水需不含使用于前处理的化学药品，绝对不能有水垢抑制剂，因此在冲冼之时，应停止添加抗水垢剂及硫酸等。

在冲冼后，完全关闭注水阀，若浓缩液管线末端进入排水处低于压力容器，浓缩液管线内空气出口必须位于高过压力容器高点的地方，否则压力容器必须以虹吸抽空。

当系统关闭超过48小时后，必须注意：

1.元件不可干掉，干的元件会损失通量，且无法恢复。

2.系统能有效的防止微生物衍生或每24小时定期冲冼一次，如无法每24小时以水冲洗膜管一次，则对于停48小时以上的系统须以化学保存液来保存。

3.应保护系统免受极端的温度变化。

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