清洗硅片清洗超纯水设备的常用工艺流程

硅片清洗超纯水设备可以有效的去除污染物以及深度除盐,清洗用硅片清洗超纯水设备是根据用户的特殊需求设计生产的新型水处理设备,可以根据实际用量,调整设备的出水量,避免造成不必要的浪费。今天,小编就给大家介绍下清洗硅片清洗超纯水设备的常用工艺流程吧。

1、采用离子交换方式,其流程如下:

原水→原水加压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器→精密过滤器→阳树脂过滤床→阴树脂过滤床→阴阳树脂混床→微孔过滤器→用水点。

第一种采用离子交换树脂其优点在最初投资少,占用的地方少。

2、采用两级反渗透方式,其流程如下:

原水→原水加压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器→精密过滤器→第一级反渗透→PH调节→中间水箱→第二级反渗透(反渗透膜表面带正电荷)→纯化水箱→纯水泵→微孔过滤器→用水点。

第二种采用两级反渗透设备,其特点为初投次比采用离子交换树脂方式要高,但无须树脂再生。

3、采用EDI方式,其流程如下:

原水→原水加压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器→精密过滤器→一级反渗透机→中间水箱→中间水泵→EDI系统→微孔过滤器→用水点。

第三种采用反渗透作预处理再配上电去离子(EDI)装置,这是目前制取超纯水比较经济和环保的超纯水设备制备工艺,不需要用酸碱进行再生便可连续制取超纯水,对环境没什么破坏性。

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