蒸馏水、去离子水、纯水、超纯水比较

天然水中通常含有五种杂质

1.电解质，包括带电粒子，常见的阳离子有H+、Na+、K+、NH4+、Mg2+、Ca2+、Fe3+、Cu2+、Mn2+、Al3+等；阴离子有F-、Cl-、NO3-、HCO3-、SO42-、PO43-、H2PO4-、HSiO3-等。

2.有机物质，如：有机酸、农药、烃类、醇类和酯类等。

3.颗粒物。

4.微生物。

5.溶解气体，包括：N2、O2、Cl2、H2S、CO、CO2、CH4等。所谓水的纯化，就是要去掉这些杂质。杂质去得越彻底，水质也就越纯净。

蒸馏水（dH2O）

利用液体混合物中各组分挥发度的差别，使H2O汽化并随之使蒸气部分冷凝分离而得的水。 通过蒸馏冷凝制得的水，所以里面的无机盐会含的很少。如果只是经过一次蒸馏得到的水，里面虽然那些不挥发的组分（盐类）被除去，但水中挥发的组分（氨、二氧化碳、有机物）还是会进入蒸馏水中。

蒸馏水是指用蒸馏方法制备的纯水。可分一次和多次蒸馏水。水经过一次蒸馏，不挥发的组分残留在容器中被除去，挥发的组分进入蒸馏水的初始馏分中，通常只收集馏分的中间部分，约占60％。要得到更纯的水，可在一次蒸馏水中加入碱性高锰酸钾溶液，除去有机物和二氧化碳；加入非挥发性的酸，使氨成为不挥发的铵盐。由于玻璃中含有少量能溶于水的组分，因此进行二次或多次蒸馏时，要使用石英蒸馏器皿，才能得到很纯的水，所得纯水应保存在石英或银制容器内。

蒸馏水的质量标准之一是含盐量一般在1～5mg/L左右。因为水中的含盐量减少，水的电阻率增加，就能用测定水的电阻率来衡量水的纯度。蒸馏水的电阻率要求在0.1×106Ω•cm（欧•厘米）左右。蒸馏水经过第二次蒸馏，可得重蒸馏水，它的纯度更高。

去离子水

把水里的阴阳离子都除掉的水。主要通过RO膜和混床树脂来把水中的离子除掉。但，现在也有不少人把RO水也叫去离子水，这是不准确的。 应用离子交换树脂去除水中的阴离子和阳离子，但水中仍然存在可溶性的有机物，可以污染离子交换柱从而降低其功效，去离子水存放后也容易引起细菌的繁殖。从自来水到去离子水一般要经过几步处理：先通过石英砂过滤颗粒较粗的杂质，再分别依次通过阴阳离子交换柱去除离子，然后加压通过反渗透膜，最后一般还要经过一步紫外杀菌以去除水中的微生物。假如此时电阻率还没有达到要求的话，可以再进行一次离子交换和反渗透过程。而蒸馏水只是先气化再冷凝，纯度一般不如去离子水，实际半导体工业中用的大多数是去离子水。

去离子水是指除去了呈离子形式杂质后的纯水。国际标准化组织ISO/TC 147规定的“去离子”定义为：“去离子水完全或不完全地去除离子物质，主要指采用离子交换树脂处理方法。”现在的工艺主要采用RO反渗透的方法制取。

在半导体行业中，去离子水被称为“超纯水”或是“18兆欧水”。

纯水（RO水）

即通过反渗透膜过滤后的水，反渗透膜的孔径一般为10A到100A之间，所以它耐杌去除95%以上的离子态杂质。

纯水又称纯净水、去离子水，是指以符合生活饮用水卫生标准的水为原水，通过电渗析器法、离子交换器法、反渗透法、蒸馏法及其他适当的加工方法，制得的密封于容器内，且不含任何添加物，无色透明，可直接饮用的水，也可以称为纯净物（在化学上），在试验中使用较多，又因是以蒸馏等方法制作，故又称蒸馏水。市场上出售的太空水，蒸馏水均属纯净水；但纯水还是少喝为好，因为里面并没有太多人体需要的矿物质。纯水不易导电，是绝缘体。铅酸蓄电池补水时要使用纯水。纯水适合于发酵培养基的调制。

超纯水

则可以认为是一般工艺很难达到的程度，如水的电阻率大于18MΩ*cm（没有明显界线），则称为超纯水。关键是看你用水的纯度及各项征性指标，如电导率或电阻率，PH值，钠，重金属，二氧化硅，溶解有机物，微粒子，以及微生物指标等。

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